Установка высокочастотная «Кристалл 107»

Установка «Кристалл 107» предназначена для получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.

Технические характеристики:

Диаметр получаемого слитка, мм, максимальный ……… 90
Макс. длина получаемого слитка, мм …………………………. 1000
Мощность колебательная, кВт ……………………………………. 40±4,0
Мощность потребляемая от сети, кВт ………………………… 70
Рабочая частота генератора, МГц ……………………………….. 1,76±0,04
Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… 5
Частота питающей сети, Гц ………………………………………….. 50
Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. 380
Число фаз питающей сети ……………………………………………. 3
Габаритные размеры блока печи, мм …………………………… 1870×1470×3455
Габаритные размеры верхней камеры, мм …………………… 710×690×1070
Масса, т, не более ………………………………………………………… 4,2

 

<< назад