Установка высокочастотная «Кристалл 108М»

Установка «Кристалл 108М» предназначена для получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.

Технические характеристики:

Диаметр получаемого слитка, мм, максимальный ……… 125
Макс. длина получаемого слитка, мм …………………………. 700
Мощность колебательная, кВт ……………………………………. 60±6,0
Мощность потребляемая от сети, кВт ………………………… 120
Рабочая частота генератора, МГц 1,76±0,04
Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… 7
Частота питающей сети, Гц ………………………………………….. 50
Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. 380
Число фаз питающей сети ……………………………………………. 3
Габаритные размеры ……………………………………………………. 4260×2130×2800
Масса, кг, не более ……………………………………………………….. 6740

 

<< назад