Установка высокочастотная «Кристалл 109»

Установка «Кристалл 109 » предназначена для групповой бестигельной зонной плавки и получения высокоомных бездислокационных монокристаллов кремния. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.

Технические характеристики:

Мощность колебательная, кВт, не менее 40±4,0
Мощность потребляемая, кВт,не более 70
Максимальный диаметр выращиваемых слитков, мм  
         при однопроходной технологии 40
         при многопроходной технологии 30
Количество одновременно выращиваемых прутков, шт  
при зонной плавке 3
при получении бездислокационных монокристаллов 1
Длина рабочего хода, мм 1000±20
Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее 5
Частота рабочая,М Гц 1,76±0,044
Напряжение питающей сети, В ……………….…………………… 380
Число фаз питающей сети 3
Габаритные размеры ……………………………………………………. 6200×2225×4000
Масса, кг, не более 5800

 

<< назад