Установка высокочастотная «Кристалл 109М»

Установка «Кристалл 109М» предназначена для групповой бестигельной зонной плавки и получения высокоомных бездислокационных монокристаллов кремния. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.

Технические характеристики:

Мощность колебательная, кВт, не менее …………………….. 40±4,0
Мощность потребляемая, кВт,не более ………………………. 70
Максимальный диаметр выращиваемых слитков, мм … 70±5
Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… 5
Частота рабочая,МГц …………………………………………………... 1,76±0,044
Длина рабочего хода, мм ……………………………………………… 1000±20
Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. 380
Частота тока, Гц …………………………………………………………… 50
Число фаз питающей сети ……………………………………………. 3
Габаритные размеры ……………………………………………………. 2000×2225×5750
Масса, кг, не более ……………………………………………………….. 5000

 

<< назад