Печь «РЕДМЕТ 30А» (СЗВН-160.1500/14,5-И1)

Электропечь позволяет выращивать кристаллы ø160-200 мм, длиной 1500 мм с использованием тигля ø406 мм с производительностью 1,7 кг/час и выходом годной продукции не менее 40%.

Технические характеристики:

Питание от 3-фазной сети частотой 50 Гц и напряжением
380/220 В
Потребляемая мощность, кВт, не более ……………………………
130
Установленная мощность, кВА, не более ……………………………
250
Номинальная температура на нагревателе, °С, не менее ……
1450
Нестабильность температуры на нагревателе, в % не хуже
±0,5
Масса садки, кг, не более ……………………………………………………
60
Давление инертного газа, Ра (мм.рт.ст.) ……………………………

0,66×10³ — 2,666×10³ (5—20)

Предельный вакуум, мм.рт.ст. ……………………………………………
0,002
Величина осевого перемещения затравки, мм ……………………
1500
Величина осевого перемещения тигля, мм …………………………
250
Расход инертного газа, л/час ……………………………………………
500—3000
Расход охлаждающей воды, м³/час, не более ……………………
10
Масса электропечи, кг, не более …………………………………………
7000

Конструкция электропечи:

Электропечь состоит из отдельных блоков: агрегата печного, пульта, комплекса управления, агрегата вакуумного АВР 150, шкафа. Вышеперечисленные блоки включают в себя следующие функциональные ситемы: силового питания нагревателей, регулирования температуры и напряжения на нем, питания электроприводов, управления вакуумной системой и цепей управления, контроля, сигнализации и защиты. Несущим элементом электропечи является рама, имеющая регулируемые опоры, позволяющая выставлять строго в вертикальной оси смонтированные на камере охлаждаемые камеры, колонну, предназначенную для механизированного монтажа и демонтажа камер, привод вращения и перемещения затравки, расположенной в верхней части колонны, привод вращения и перемещения тигля, находящийся в нижней части блока камер. Закрепленные на раме подающая и сливная воронки, а также блок контроля температуры и расхода воды, призванные обеспечить достаточное водоохлаждение элементов электропечи и сигнализировать в случае его нарушения, как в световом, так и в звуковом виде, отключая при этом электропечь от питания.

Вакуумно-газовая система состоит из вакуумного агрегата АВР 150, системы вакуумопроводов, снабженных сильфонными компенсаторами, фильтра, вакуумных вентилей, как ручных так и электромагнитных, призванных защитить рабочее пространство электропечи от попадания вакуумного масла при неожиданном отключени электроэнергии. Фильтр вакуумной системы служит для улавливания моноокиси кремния, обеспечивая при этом надежную работу вакуумного агрегата. В процессе выращивания кристалла откачка камер производится через байпасную линию.

Инертный газ поступает в камеру через блок подачи аргона, состоящий из запорных и регулирующих вентилей, ротаметра и манометра. Блок подачи аргона предназначен для измерения давления и регулирования расхода аргона, подаваемого в камеру электропечи.

Питание силовой энергией печи производится от шкафа, состоящего из трансформатора ТЭСК-250/50, расположенного внутри шкафа и тиристорно-диодного преобразователя ПТД 3000, призванного обеспечить регулирование напряжения тока на нагревателях.

Измерение, котроль и автоматическое регулирование температуры и напряжения на нагревателе в зависимости от условий выращивания кристалла на электропечи осуществляется комплексом КМ 3111, имеющим возможность ведения процесса в полуавтоматическом режиме.

Механизмы вращения и перемещения затравки и тигля, а также привод подпитки представляют собой функционально законченные сборочные единицы, которые имеют все элементы для их проверки на работоспособность. Питание и управление электродвигателями механизмов осуществляется комплексов КМ 3111. Для безопасности работы электрической схемой электропечи предусмотрено большое количество блокировок, не позволяющих производить подачу силовой энергии без откачки вакуума, без закрытия двери и т.д., все это гарантирует безопасность работы с электропечью.

 

<< назад