Печь «РЕДМЕТ 6» (СЗВН-80.1500/14,5-И1)

Электропечь предназначена для выращивания монокристаллов кремния малого диаметра,необходимых в полупроводниковой промышленности, в среде инертного газа.

Технические характеристики:

Установка питается от 3-х фазной сети электрического переменного тока напряжением 380 В и частотой 50 Гц.

Номинальная мощность, кВт, не более ……………………….. 90
Установленная мощность, кВА, не более …………………….
120
Номинальная температура
на нагревателе, °С, не более …………………………………………
1550
Максимальные размеры выращиваемых монокристаллов, мм, не менее  
           диаметр…………………………………………………………………. 80
           высота…………………………………………………………………… 1500
Стабильность температуры
на нагревателе, %, не хуже …………………………………………..
±0,1
Предельный вакуум (в холодном состоянии), Па ……….. 133,3×10-2
Масса садки, кг, не более ……………………………………………..
10,0
Удельная масса электропечи, т/м³, не более ……………… 1,28×10-6
Удельная мощность,кВ т/м³, не более ………………………… 28,84×10-6
Габаритные размеры ……………………………………………………. 3440×2500×4500
Масса электропечи, т, не более ……………………………………
4,3

 

<< назад