Печь СЗВН-155.320.35/22-И1

Электропечь для выращивания монокристаллов тугоплавких материалов методом горизонтально направленной кристаллизации в среде инертного газа.

Основные характеристики:

СЗВН155
Установленная мощность, кВт ……………………………………… 70
Потребляемая мощность, кВт, не более ………………………. 30
Номинальная температура, °С ……………………………………… 2200
Количество зон нагрева ………………………………………………… 1
Среда в рабочем пространстве ……………………………………… ваккум или инертный газ
Предельный вакуум, Па (мм.рт.ст.) ……………………………… 6,65×10-3 (5×10-5)
Предельное давлениеинертного газа, Па ……………………… 1,4×10-5
Максимальные размеры получаемых кристаллов, мм  
высота……………………………………… 35
ширина……………………………………… 155
длина………………………………………… 320
Точность стабилизации напряжения на вводах нагревателя, в % …………………………………………………………… ±0,2
Скорость перемещения контейнера, рабочая, мм/час … 2—75
Номинальное напряжение питающей сети, В ………………. 380/220
Расход охлаждающей воды, м³/час, не более ……………… 5
Давление охлаждающей воды, кг/см² …………………………. 1,5—2,5
Габаритные размеры, мм ……………………………………………… 1690×2915×2100
Масса, кг ……………………………………………………………………… 2700

 

Процесс выращивания и состав печи

Исходня загрузка в молибденовом контейнере прямоугольного сеченя помещается в нагревательную камеру, первоначально проплавляется, а затем с рабочей скоростью до 10 мм/час перемещается относительно вольфрамового нагревателя, по форме повторяющего сечение контейнера. На этом этапе проиходит процесс кристаллизации. Затем по специальной температурно-временной программе производится отжиг полученного кристалла. Оригинальная конструкция тепловой зоны обеспечивает оптимальные условия выращивания кристаллов.

Тепловой узел выполнен из тугоплавких материалов: нагреватель — вольфрамовый, теплоизоляционные экраны — вольфрам, молибден. Все это в совокупности позволяет обеспечить высокое оптическое качество, однородность и низкий уровень остаточных напряжений в выращенном кристалле.

 

<< назад